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| 溫度范圍 | 室溫~1250℃ | 最高升溫速度 | ≤25℃/s（SiC載盤） |
|---|---|---|---|
| 溫控方式 | 快速PID溫控 | 溫度控制重復性 | ±1℃ |
產品簡介
詳細介紹
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統，可兼容4-12英寸晶圓Wafer。
半導體快速退火爐的產品優勢
?采用紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；
?快速PID溫控，可精準控制溫度升溫，保證良好的重現性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產生，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇，實現進氣前氣體凈化處理；
?標配兩組工藝氣體，最多可擴展至6組工藝氣體。
晟鼎精密核心產品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機、USC干式超聲波除塵清洗機、離子靜電消除裝置、半導體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設備。