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[供應(yīng)]HMF-有氧退火爐

貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-01-30 21:00:07

有效期:2025年1月30日 -- 2025年7月30日

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有氧退火爐
藍寶石晶體具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性,強度高、硬度大、耐沖刷,可在接近 2000 ℃ 高溫的惡劣條件下工作,因而被廣泛的應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光的窗口材料。其*的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成為實際應(yīng)用的半導(dǎo)體 GaN/Al2O3 發(fā)光二極管 (LED) ,大規(guī)模集成電路 SOI 和 SOS 及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等為理想的襯體

有氧退火爐

案例:藍寶石有氧退火爐

藍寶石 (Sapphire) 是一種氧化鋁 ( α- Al2O3的單晶,又稱為剛玉。 藍寶石晶體具有優(yōu)異的光學性能、機械性能和化學穩(wěn)定性,強度高、硬度大、耐沖刷,可在接近 2000  高溫的惡劣條件下工作,因而被廣泛的應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強度激光的窗口材料。其*的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學性能、良好的熱學性能使藍寶石晶體成為實際應(yīng)用的半導(dǎo)體 GaN/Al2O3 發(fā)光二極管 (LED) ,大規(guī)模集成電路 SOI  SOS 及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等理想的襯底材料。

在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中,盡管部分的加工應(yīng)力會在下一道加工工序釋放,但是這種應(yīng)力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應(yīng)力會在晶片表面集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在后道加工過程產(chǎn)生破片,影響整個加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。 藍寶石襯底在加工過程中,必須經(jīng)過退火處理以降低加工應(yīng)力。

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藍寶石晶棒退火(有氧退火)

  • 去應(yīng)力:使藍寶石便于加工,切屑。
  • 消除應(yīng)力集中,避免晶體自動開裂,以及加工中產(chǎn)生裂紋、爆口等。
  • 退火溫度以達到其熔點附近為佳,升溫速率不宜過快,直徑越大,保溫時間應(yīng)越長;降溫時間應(yīng)大于升溫時間,避免再次產(chǎn)生應(yīng)力。                                                             

去色心:使藍寶石更透明,透光更好。

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