課程
KLA Instruments | Webinar課程：快速傅里葉變換：測厚膜時您的得力助手
※適合新老客戶了解學習膜厚儀的使用；加深對產品的理解。
超過8微米的厚膜會產生很多光干涉條紋。分析這樣復雜光譜的一個簡潔方法就是用快速傅里葉變換。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析。這包括FFT窗口功能，波長范圍自動優化，以及光學厚度濾波。
我們會講到光斑尺寸的影響以及設備的選配。還會講到多層薄膜的應用。
下期預告：
時間：2020年9月17日 上午10點
敬請期待！（屆時注意查看推送文章）
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