目錄:優(yōu)尼康科技有限公司>>薄膜厚度測(cè)量>>Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x>> F60-tFilmetrics 自動(dòng)光反射膜厚測(cè)量?jī)x
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更新時(shí)間：2025-06-25 10:12:32瀏覽次數(shù)：2728評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 波長(zhǎng)范圍 | 190nm-1340nm |
| 光源 | 鎢鹵素?zé)?/td> | 光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米（最小可達(dá)150μm） |
| 測(cè)量精度 | 0.02nm1 | 準(zhǔn)確度*：取較大者 | 1nm或0.2% |
| 穩(wěn)定性 | 0.05nm3 |
Filmetrics F60-t 自動(dòng)光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品一樣。主要測(cè)繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及可以升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；
可測(cè)樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量；
所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件；
凹槽自動(dòng)檢測(cè)
自動(dòng)基準(zhǔn)確定
全封閉測(cè)量平臺(tái)
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識(shí)別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽(yáng)能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽(yáng)極膜 | 硅橡膠 |
波長(zhǎng)范圍： | 190nm-1340nm | 光源： | 鎢鹵素?zé)?/span> |
光斑大小： | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米（最小可達(dá)150μm） | 測(cè)量精度： | 0.02nm1 |
準(zhǔn)確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性： | 0.05nm3 |
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