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當前位置：德國韋氏納米系統有限公司>>產品展示>>Etching/等離子蝕刻系統
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等離子刻蝕ICP基片通過預真空室裝入。其避免與工藝室以及任意殘余刻蝕副產品接觸，從而提高了用戶安全性。預真空室還使得工藝室始終保持在真空下，從而隔絕外部濕氣，防...
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