可根據(jù)用戶需要設(shè)計生產(chǎn)（二溫區(qū)、三溫區(qū)、多溫區(qū)），可預(yù)抽真空，通多種氣氛。真空泵、閥采用進口設(shè)備，性能可靠。控制電路選用模糊PID程序控制技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡單易操作等特點。在預(yù)熱方式上設(shè)有本公司自主研發(fā)的自動升溫預(yù)熱程序。在程序下*不需要操作人員監(jiān)看、調(diào)整工作電流，可將工作人員從繁瑣的操作中解放出來。本系列CVD高溫管式氣氛爐制造技術(shù)已達國內(nèi)水平。