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GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺
關鍵詞：高低溫探針臺，半導體，光電，吉時利
GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V，PIV測試,傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電子樣品測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本，可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試，可以做材料的介電，鐵電等測試,是目前高等院校和研究所及材料生產單位的重要輔助設備。
GDWT-480型自動型真空高低溫探針臺該探針臺尺寸高達59x59MM，不銹鋼臺面設計，可以達到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設計，具備進氣口和抽真空接口，三軸移動探針臂保證X/Y/Z三個方向均可在真空環境下精密移位調節，用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測.
主要特點：
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開觀察窗口，可以通過X/Y/Z三軸移動調節探針，
3、可以配真空，氣氛等多種功能。
4、三軸調節范圍：其中X方向0－28mm；y方向調節范圍：0－18mm；z方向調節范圍：0－18mm；
主要技術參數：
真空腔體 | |
整內腔體尺寸 | φ160x90mm（標準） |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
樣品臺尺寸 | Φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 74mm |
加熱臺溫度 | -190-350℃ |
加熱臺溫控精度 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm（其他多種可選）0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
制冷 | 液氮/液氦/制冷機 |
探針移動平臺 | |
X-Y-Z移動行程 | 30mm*25mm *25mm |
結構 | 真空波紋管結構，精密三軸控制探針 |
精度 | ≤0.01mm |
漏電精度 | 10pA,100fA,10fA |
接頭類型 | BNC/三軸/鱷魚夾/香蕉頭/接線端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡(可以選配） |
物鏡倍數 | 0.6-5.0倍(可以根據客戶要求進行選配） |
工作間距 | 85mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 200萬/500萬/1200萬 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 9寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
可選附件 | |
光學平臺 | |
屏蔽箱 | |
光電測試配件 | |
高壓測試配件 | |
激光系統 | |
氣敏測試系統 | |
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