作為生物材料，除了要滿足特定功能外，還必須具備生物相容性。生物相容性包括血液相容性和組織相容性兩部分。前者表示材料與血液之間相互適應的程度，而后者反映材料與除了血液以外的其他組織之間相互適應的能力。大量實驗表明，低溫等離子體技術確實能有效地改善生物醫用材料的血液相容性和組織相容性。
1、血液相容性
對植入生命體內的材料的一個重要的要求就是它能與血液相容而不會引起血凝結、毒性和免疫反應，這樣的材料稱為血液相容性材料。材料表面和血液接觸后，首先是血漿蛋白立即被吸附到材料表面，然后經過一系列的生物效應，后導致血小板不可逆的聚集而形成血栓。
2、組織相容性
組織相容性是指機體組織與外來物的相容程度，它包括兩方面的含義：一方面是機體對外來物的反應;另一方面是外來物對機體的影響。
機體對外來物具有本能的排異性。任何異物，即使是無毒的高分子材料進入機體，也必然會受到排斥，引起程度不同及持續時間不同的反應。決定高分子材料終是否能被機體接受的因素，一個是高分子材料自身的化學穩定性，另一個是高分子材料與機體組織的親和性。
另外，要求材料對基體不會產生不良影響，如引起炎癥、過敏、致畸、癌癥等反應。組織相容性涉及的對象是組織和細胞。組織相容性高分子的合成設計和血液相容性高分子的要求一樣，也是基于疏水性、親水性、它們的微相分離結構以及表面改性。
目前，國內有不少單位正在利用等離子體表面處理技術積極開展生物醫用材料的表面改性及表面膜合成研究，以解決抗凝血、生物相容性、高分子聚合物表面親水性、抗鈣化及細胞吸附生長、抑制等關鍵技術問題。
低溫等離子清洗機表面處理技術以其優點正被許多科學工作者用于生物材料的表面改性及表面膜合成研究。但是這些研究大多處于開發階段或動物實驗階段，離實用化還有一段路程。
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