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上海申思特自動化設備有限公司

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陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究

2016-12-16  閱讀(927)

陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究
傳感技術已和計算機技術、通訊技術成為當今電子信息技術的三大支柱,并成為發展zui為迅速的技術學科之一。作為信號檢測、信息獲取的關鍵和基礎,傳感技術日益受到世界范圍內的高度重視。新型敏感材料和傳感器的研究,已成為國內外優良研究的熱點和前沿。

陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的研究
根據E+E壓力傳感器的實際測試過程中的各個環節已經或可能產生的影響,獲取E+E壓力傳感器真實性能輸出數據的因素,采用可靠性的分析方法對其進行分析;提示了測試過程中影響傳感器輸出的規律,減小傳感器因在測試過程中產生的誤差;并為深入研究E+E壓力傳感器提供一條新的思路,為研究新的E+E壓力傳感器提供一定的理論依據。陶瓷厚膜E+E壓力傳感器是一種新型應變式E+E壓力傳感器,利用厚膜電阻的壓阻效應和力敏效應研制而成。其應變電阻為具有壓阻效應的厚膜釕酸鹽電阻,并采用厚膜工藝技術直接印刷、燒結在陶瓷彈性體上,實現壓力檢測。先從傳感器的基本特性、厚膜工藝、厚膜E+E壓力傳感器系統理論及在壓力測量方面的應用進行深入的研究,闡述了陶瓷壓阻式E+E壓力傳感器的基本原理、工藝流程;分析現有產品的技術難點,給出一體式陶瓷厚膜E+E壓力傳感器的設計方案。主要工作概括如下:給出了一體式陶瓷彈性膜片和新型厚膜絲網印刷版圖設計方案,優化了傳感器關鍵工藝環節;改變厚膜電阻激光修刻方案,加工制作了陶瓷厚膜E+E壓力傳感器。改進方案,解決了陶瓷E+E壓力傳感器的圓環形陶瓷基座與陶瓷彈性膜片粘接垂直相交連接處的圓周線開裂難點;惠斯通電橋不平衡影響零位信號輸出的缺點;模擬信號處理電路無法滿足傳感器向小型化、智能化、高精度方向發展等技術難點。



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