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ZB-XTJ-2 旋轉涂膜機簡稱旋涂機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
產品型號 | AT-XTJ-2 |
可鍍膜基片尺寸 | ?10~100mm |
旋轉速度 | 10~10000rpm |
轉速分辨率 | 1rpm |
速度精度 | <0.02% |
旋涂加速度* | 0~20000rpm/s |
每段加速時間 | 999.9s |
每段旋涂時間 | 9999.9s |
時間分辨率 | 0.1s |
預吸片時間 | 99s |
解吸片時間 | 99s |
控制方式 | 觸摸屏 |
產品特點
1.多種參數規格可供選擇包含單頭、多頭,單速、多速等系列產品,滿足客戶不同需求。
2.其勻膠速度、時間分多個時段,并分別無級可調。
3.電器線路可靠,電機運轉平穩,吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率。
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