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合肥辰越自動化工程有限公司

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韓國LS伺服驅動器報警代碼

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應用范圍：

　　1， 半導體制造工業
　　2， 設備應用
　　　A. 曝光顯影設備 (涂膠，顯影)    光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。
　　　B. 清洗、蝕刻設備               　　用于蝕刻，清洗，去膜設備。

　　　C. 清洗設備　　　　　　　　　適用于 物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。




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