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8626 型質量流量控制器 (MFC) 適用于大量氣體的質量流量調控。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達到非常快的響應速度。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備zuo越的控制特性。8626 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。
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