熱式氣體質量流量計是依據吸收熱的速度直接與質量流量相關的原理，該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻（鉑RTD）組成。一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據熱效應的金氏定律。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數，熱學特性和流動特性有關。
熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的，該儀表采用恒溫差對氣體進行準確測量，這就是恒溫差原理。具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。
熱式氣體質量流量計可應用于：環保行業、食品醫藥行業、化學行業、冶金行業、電力行業、等其他行業。管道的氣體；通用系統；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐預熱空氣。
燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量；燃氣爐中氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量。煙氣循環監測；采樣系統中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量 ；電池工廠各種氣體流量測量。廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量。加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠中的二氧化碳處理；瓶子消毒器中的熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測量；通風系統；鍋爐進氣﹑廢氣﹑過程控制。工廠壓縮空氣測量；煤粉燃燒過程粉/氣配比控制燃料；水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制。
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