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D07-60BM氣體質量流量計技術參數：
| 產品型號 | D07-60BM |
| 產品類型 | 大流量型 |
| 流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
| 產品精度 | ±2％F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±1％F.S. |
| 響應時間 | ≤10sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 無閥 |
| 溫度系數 | - 無 - |
| 零點飄移指標 | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | ＜0.2 MPa |
| 漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
| 標準接頭形式 | 雙卡套1/2”(滿量程≤1000slm),雙卡套Φ10(滿量程=300slm) |
| 表面化學成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | - 無 - |
| 重量 | 5Kg |
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