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產品簡介
詳細介紹
CVD-1700真空系統由高溫管式爐，高真空擴散泵/分子泵系統，多通道高精度數字質量流量控制系統，自動壓強控制系統等組成。可實現本底真空達0.001—0.0001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。 | |||
CVD-1700真空系統主要功能和特點： 1、真空系統可根據使用要求選擇我司擴散泵機組或分子泵機組； 2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制； 3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制； 4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全可靠。 5、采用水冷KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷； 6、管路采用世界*Swagelok卡套連接，不漏氣； 7、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，保證設備及實驗的安全性。 | |||
CVD-1700真空系統主要用途： 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。 | |||
CVD-1700真空系統主要技術參數： | |||
SGL-1700高溫爐 | 控溫方式 | 采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制50段升降溫程序。 | |
加熱元件 | 進口1700型優質硅鉬棒 | ||
工作電源 | AC220V 50Hz/60Hz；額定功率6kw | ||
爐管材質 | 99瓷氧化鋁剛玉管 | ||
爐管尺寸 | Φ60/80/100*/1000mm | ||
工作溫度 | ≤1600℃ | ||
zui高溫度 | 1650℃ | ||
恒溫精度 | ±1℃ | ||
升溫速度 | ≤10℃/min | ||
測溫元件 | B型熱電偶 | ||
密封方式 | 不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封 | ||
ZK真空系統 | ZK-F | ZK-K | |
真空范圍 | 0.1-0.001Pa | 0.1-0.01Pa | |
極限真空 | 5.0*10^-5Pa | 5.0*10^-4Pa | |
產品配置 | 雙級旋片真空泵+分子泵 | 雙級旋片真空泵+擴散泵 | |
冷卻方式 | 風冷 | 水冷 | |
抽 速 | 110L/S | 100L/S | |
測量方式 | 復合真空計 | ||
真空規管 | 電阻規+電離規 | ||
ZDC-I壓強控制系統 | 測量范圍 | 1*10^5～1*10^-1 Pa | |
穩壓(真空)范圍 | 1*10^3～1*10Pa | ||
壓力(穩定精度） | ±3% | ||
控制范圍 | 2.5*10^3～5*10^-1 Pa | ||
控制精度 | ± 1% | ||
HQZ-Ⅲ混氣系統 | 控制方式 | D07-7K質量流量計,D08流量顯示儀 | |
流量規格（可訂制） | 0－500SCCM /0－1SLM, | ||
線 性 | ±1%F.S. | ||
準確度 | ±1%F.S. | ||
重復精度 | ±0.2%F.S. | ||
響應時間 | ≤2sec | ||
耐 壓 | 3MPa | ||
氣路通道 | 3通道（根據客戶需求） | ||
針 閥 | 316不銹鋼 | ||
管 道 | Φ6mm不銹鋼管 | ||
接 口 | SwagelokΦ6mm | ||