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 　　手持式光譜儀的原理主要是基于XRF光譜分析技術(shù)。當(dāng)高能X射線與原子碰撞時(shí)，能量高于原子的內(nèi)層電子結(jié)合能，驅(qū)逐了一個(gè)內(nèi)在的電子從而出現(xiàn)一個(gè)空洞，使整個(gè)原子系統(tǒng)處于一種不穩(wěn)定的狀態(tài)。當(dāng)電子躍遷到空洞時(shí)，產(chǎn)生一個(gè)光電子，被擊中的光子可能從外層的另一個(gè)二次光電子重新吸收并拋射出來，從而產(chǎn)生俄歇效應(yīng)，也稱為二次光電子效應(yīng)或非輻射效應(yīng)。噴射出的二次光電子稱為螺旋電子。當(dāng)外層電子躍入內(nèi)空穴時(shí)釋放的能量沒有被原子吸收，而是以光子的形式發(fā)射時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生X射線熒光。