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電子掃描顯微鏡

技術(shù)參數(shù)：

*1、光學(xué)系統(tǒng)：無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)；

2、放大倍數(shù)：40X—1000X；

*3、目鏡：大視場高眼點(diǎn)目鏡10X，

4、鏡筒組：三目鏡筒，30度傾斜，光瞳間距50—75mm，頭部為絞鏈?zhǔn)饺款^；分光比0：100或80：20

5、電子掃描顯微鏡：粗微動同軸式調(diào)焦且低手位操作, 行程25mm，微調(diào)精度2um，設(shè)有防下滑裝置及粗調(diào)松緊裝置，配有調(diào)焦上限位裝置。電動調(diào)焦裝置

*6、平臺組：電動機(jī)械移動平臺，進(jìn)口三角導(dǎo)軌，電動接口，平臺尺寸：190x140mm，范圍：55X78mm，雙片夾結(jié)構(gòu)，

*7、柯拉照明系統(tǒng)： 6V/30W進(jìn)口燈泡，超長壽命；

8、PLAN4X/0.1，    PLAN10X/0.25，PLAN20X/0.40(彈簧)， PLAN40X/0.66(彈簧)、        PLAN100X/1.25(彈簧，油)；

9、物鏡轉(zhuǎn)換器：內(nèi)傾式五孔滾珠軸承，帶防霉裝置；

10、聚光鏡組：升降式阿貝聚光鏡， NA= 1.25，帶刻度的可變光欄；

11、可選配： （1）熒光裝置   （2）相差裝置           （3） 暗場和偏光裝置

12.可選配數(shù)碼攝像系統(tǒng)：

 在掃描電鏡應(yīng)用中，很多集中在半導(dǎo)體器件和集成電路方面，它可以很詳細(xì)地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實(shí)際情況，這是因?yàn)檫@種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細(xì)節(jié)或相互關(guān)系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導(dǎo)體P—N結(jié)內(nèi)部缺陷。