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所屬類別：光機產品/精密定位控制系統 » 壓電精密定位系統
氣浮旋轉臺
可根據客戶要求進行定制
AURT系列氣浮旋轉臺采用經過特殊設計的空氣軸承，該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優化。與傳統的軸承相比，采用氣體為潤滑劑，因此所有運動都是無接觸的，因此在整個使用壽命之內，設備的性能保持不變，并且無需進行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。
上海昊量光電設備有限公司推出的氣浮旋轉平臺主要分為AURT-S和AURT-U兩個系。
1）AURT-S系列氣浮旋轉平臺在緊湊的體積中包含空氣軸承，電機和編碼器，可實現出色的角度定位和速度穩定性，大孔徑便于滑環的集成、光學或其它需要光路直通的應用；例如X射線和光學檢測應用。AURT-S系列包含以下五款產品。
①AURT-075S和AURT-100S兩款氣浮轉臺是AURT-S系列中較緊湊的產品。這兩款空氣軸承轉臺不但擁有緊湊的體積還可以提供優異的運動精度和性能. 可*的用在小型設備和多軸運動系統的θ軸。該氣浮轉臺輕巧緊湊的設計是高動態和精確定位應用中的*解決方案。
②AURT-150S是一款中檔的旋轉平臺，具有出色的載重能力和低誤差的運動性能。低高度和大孔徑使該旋轉臺成為測量和檢測應用中的首要選擇。
③AURT-250S和AURT-500S是兩款大剛度大載重量的氣浮旋轉臺。AURT-250S氣浮轉臺負載能力達到80kg，該平臺在軸向和徑向擁有極小的誤差，和*的平穩度。AURT-500S是一款超大載重量的空氣軸承轉臺，載重量高達8300N，并且擁有極低的運動誤差，集成一個高分辨率編碼器可實現穩定的定位和速度跟蹤。
2）AURT-U系列氣浮轉臺是同類產品中性能很好的產品。具有超低的運動誤差（低于20nm）。追求*的設計融合了的性能。該系列的代表產品是AURT-150U，是款超精密氣浮旋轉平臺
此外提供高精度的復雜運動和定位方案：
提供不同應用中需要的定位平臺、控制器和相關軟件
Ø整體解決方案
Ø定制化解決方案
Ø復雜的多軸與并聯運動系統
Ø超精密空氣與機械軸承
Ø軟件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
產品特點：
主要應用
l 圓度測量系統
l 微米或納米斷層掃描成像
l 精密制造
l 同步輻射或X射線
l 半導體行業
產品參數：
Air Bearing | |||||||
Units | AURT075S | AURT100S | AURT150S | AURT250S | AURT500S | AURT150U | |
max. axial load | N | 137 | 206 | 434 | 804 | 8300 | 726 |
max. radial load | N | 51 | 78 | 226 | 452 | 2570 | 264 |
axial stiffness | N/μm | 68 | 103 | 217 | 402 | 1660 | 242 |
radial stiffness | N/μm | 25 | 39 | 113 | 226 | 514 | 88 |
tilt stiffness | Nm/mrad | 33 | 90 | 455 | 2380 | 37.4 | 204 |
rad. err. motion | nm LSC | <100 | <100 | <100 | <100 | <100 | <20 |
axial err. motion | nm LSC | <50 | <50 | <50 | <50 | <50 | <20 |
air consumption | NL/min | <4 | <8 | <10 | <15 | <100 | <20 |
angular accuracy | arcsec | ±13.8 | ±10.3 | ±6.9 | ±4.0 | ±2.9 | ±6.9 |
Motor & Encoder | |||||||
nominal torque | Nm | 0.04 | 0.13 | 0.45 | 1.5 | 3.0 | 0.5 |
peak torque | Nm | 0.13 | 0.40 | 1.35 | 4.5 | 9.0 | 1.5 |
max. speed | rpm | 300 | 200-1200 | 200-800 | 120 | 60 | 200 |
encoder | periods | 11840 | 15744 | 23600 | 40000 | 47200 | 23600 |
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