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壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
  • 壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
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貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-03-18 16:43:07

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AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用軸承技術(shù),使壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差都非常的小。這使的該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)成為市面上Z精確地產(chǎn)品。該系列平移臺(tái)由滑塊驅(qū)動(dòng)和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動(dòng)方式,可進(jìn)行連續(xù)旋轉(zhuǎn),對(duì)角度無(wú)限制,并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制,使壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有*的分辨率和可重復(fù)性。

AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一款緊湊的高精度的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用軸承技術(shù),使壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差都非常的小。這使的該系列旋轉(zhuǎn)臺(tái)成為市面上zui精確地產(chǎn)品。該系列平移臺(tái)由滑塊驅(qū)動(dòng)和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動(dòng)方式,可進(jìn)行連續(xù)旋轉(zhuǎn),對(duì)角度無(wú)限制,并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制,使壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有*的分辨率和可重復(fù)性。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)按照使用馬達(dá)的不同可以分為兩類(lèi)。

1)使用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)臺(tái),AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超聲波壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的緊湊而精確的旋轉(zhuǎn)臺(tái)。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺(tái)擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價(jià)格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機(jī)擁有更長(zhǎng)的使用壽命、更低的功耗并且無(wú)噪聲。并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制,精度zui高可達(dá)到0.0002°,速度zui大可達(dá)到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺(tái)。

 

Fig1 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig2 AU-XRT-U

 

2)滑塊式壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng),利用軸承技術(shù),即使在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中也可以主動(dòng)將徑向誤差運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償,這使得其成為市場(chǎng)上*的zui為精確的壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái),AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm,可以與空氣軸承精度相媲美,并且體積緊湊價(jià)格低廉,并且可以提供真空和磁性應(yīng)用的產(chǎn)品。

Fig3. 運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)量

Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺(tái)

 

 

主要特點(diǎn)

l  高精度(200μ°)

l  高速度(1080°/s)

l  可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)條件使用

主要應(yīng)用

l  微型CT掃描儀

l  X射線(xiàn)衍射系統(tǒng)

l  電子顯微鏡

l  同步加速器

l  計(jì)量學(xué)

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

ultrasonic   piezo motor

stick-slip

Radial   error motion:

<   5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<   3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

<   1 µm

Tilt   (wobble):

<   50 µrad (-PB)

<   100 µrad

Load   capacity:

<   1 kg

≤   1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor

 

Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm

 

Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm

 

Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

6.25   m° (-S)

6.25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)

 

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