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光電流基礎測試探針臺
產品簡介
T5500B探針臺具有較高的性價比。較低的泄漏電流~50fA使得其易于測試6英寸的圓晶和破損的樣品。同時具有較強的拓展性，客戶可以根據自己的需求選用加熱吸盤，高倍顯微鏡，底座和屏蔽箱等。
產品優勢
•精度高
•測試穩定
•操作方便
•多種測試技術
•低泄漏電流
技術規格
樣品臺
尺寸 | 6英寸，低泄漏電流 <50fA |
X-Y行程 | 100mm×100mm |
X-Y行程精度 | 5μm |
Z行程 | 10 mm |
Z行程精度 | 1μm |
顯微鏡行程 | x-y 50mm×50mm 精度5μm |
顯微鏡
顯微鏡 | 放大倍數90倍 樣品臺<100μm |
CCD 相機 | 放大倍數300倍 樣品臺<50μm |
高倍顯微鏡 | 放大倍數1000倍 樣品臺<10μm |
CCD相機
2.1M像素 CCD C-mount 1/3 英寸
15 英寸LCD顯示器
針座平臺
行程6mm 精度3μm
真空平臺 行程6mm 精度3μm
探針
M5BG | M1.5BT |
尺寸：0.5×25mm | 尺寸：0.5×30mm |
漏電精度 ：<10fA | 針尖直徑：5μm |
針尖直徑：5μm |
應用
IV測試
CV測試 可靠性測試
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