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高精度角位移臺
角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等，是用在在小角度內精確旋轉物體的平臺，它提供的不是線性運動而是繞著空間固定一點進行旋轉。
AU-SGO系列壓電馬達角位移臺由壓電馬達驅動，使用高精度交叉滾珠軸承，可提供*的分辨率，并且行程可達到±5°，非常適用于微米或納米定位。該平臺可提供不同的旋轉半徑。主要包括以下產品。
AUSGO-60.5 | AUSGO-77.5 | AUSGO-93.5 | |
Picture |
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Travel [°] | ±5 | ±5 | ±5 |
Max. Normal Force [N] | 5 | 5 | 5 |
Center of Rotation [mm] (above working platform) | 60.5 | 77.5 | 93.5 |
Closed-Loop Resolution [µrad] | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad] | 0.12 | 0.12 | 0.12 |
此外可以將兩個合適半徑的平臺組合在一起組成歐拉角位移臺，此外還可以與線性平臺組合組成多維運動系統。 另外該平臺還可以用于不同的環境下，例如真空和超高真空環境。
應用實例：
1、 具有六個自由度的定位系統（X;Y;Z;a;b;Zθ）
角位移臺可以與我們的其它運動模塊組合組裝為多維運動系統，如下圖所示，與兩個線性平臺和升降臺組裝成XYZ平臺，在XYZ系統的頂部安裝了兩個測角儀SGO-60.5和SGO-77.5，以及一個SR-5014旋轉臺，由于外部尺寸和安裝孔匹配，三個旋轉階段具有相同的旋轉中心（由綠色球體表示）。
主要特點
l 高精度（0.03µrad）
l 可在真空和非磁環境
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