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MM3E 以 MM3A-EM微納米操縱儀為基礎，具有MM3A-EM 相同的緊湊性、精確性和穩定性。同時，MM3E具有閉環位置反饋功能（closed-loop positional feedback），該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作（Working）和停留（Parking）位置。
MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 工具內定位探針。
軟件可執行坐標變換，使 MM3E 以笛卡爾坐標系工作，其重現性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉軸，樣品可在工作位置進行同心旋轉（compucentrically）。
產品特點（Features）
配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統
適用于大多數 SEM/FIB 的接口解決方案
輕松使用多個機械手
結構緊湊，可實現更高的共振頻率
幾乎不受振動影響
快速手動預定位
寬大的工作范圍（100 cm3）
技術參數（Specifications）
X/Y 分辨率：0.5nm
Z分辨率：0.02nm
R軸分辨率：0.5e-6°
XYZ重復性： < 2 µm
R軸重復性： < 0.02°
漂移：< 1 nm/min
同心旋轉同心度 ~30 µm
應用（Application）
原位提?。?/span>In-situ lift-out）
納米探測（NanoProbing）
微納操縱（NanoManipulation）
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
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