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HT5003氣體質量流量計
概述:
HT5003氣體質量流量傳感器是采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片制作，適用于各種用途的清潔、相對干燥性氣體流量測量和過程控制，*的封裝技術使得產品滿足不同范圍的流量測量，確保高靈敏度，高可靠性，高穩定性和低成本。
HT5003是基于MEMS流量傳感單元和高精度數字處理和標定電路(MCU)組成.集成的ZA/D轉換器和具有內部校準功能的邏輯電路及MCU處理器共同保證了傳感信號實時有效采集，獲得 
的流量信號，并在內部進行相應的補償算法處理，因此無需再做任何外部校準補償，就能確保高精度的流量輸出；友好的數字化輸出通訊方式，用戶可以很方便的得到進行通信得到相應數據信息；產品應用范圍十分廣闊。
技術參數：
流量范圍 | 0~500/600/800/1000/1200/1600slpm |
測量精度 | +1.5 %FS |
響應時間 | T90≤20ms |
大壓力 | 0.8Mpa |
供電電源 | DC8~24V，50mA |
通訊方式 | RS232或 RS485（MODBUS） |
輸出方式 | 模擬輸出1-5VDC |
介質溫度 | -10℃~+65℃ |
環境溫度 | -25℃~+85℃ |
接口 | NPT1寸 |
防護等級 | IP40 |
校準方式 | 空氣，0℃，101.325kPa |
整體材質 | 不銹鋼(可定制鋁合金) |
HT5003氣體質量流量計特點：
a. 精度高(1.5%F.S精度)
b. 線性輸出和無需溫度補償
c. 以小的零漂保持長期穩定性
d. 快速響應時間(20 ms響應時間)
e. 流速范圍寬0-60m/s，抗沖擊100g
f. 固態傳感核心(無表面空洞或易碎膜)，抗堵塞和壓力沖擊
g. 模擬輸出(1-5V)(可提供數字I2C通信輸出)
h. 能夠適應于相對潮濕性氣體測量
i. 工作溫度：-25℃至85℃，儲存溫度：-40℃至90℃，濕度：0-*RH
j. 傳感器可耐冷凝水
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