化工儀器網
技術文章
針對半導體行業的安捷倫 ICP-MS解決方案
閱讀：1008 發布時間：2023-8-29單四極桿 ICP-MS Agilent 7900 ICP-MS 在一臺緊湊的臺式單四極桿儀器中實現了高性能。它是一種 經濟有效的解決方案，適用于測量制程化學品和低純度材料中的痕量污染。7900 具有處理大多數半導體樣品類型所需的高性能和靈活性，可配備用于分析納米 顆粒、有機溶劑和高腐蝕性酸的選件和附件。它是許多半導體公司的常規分析 儀器。
串聯四極桿 ICP-MS Agilent 8900 ICP-MS/MS 是世界上一款真正的串聯四極桿 ICP-MS ― 支持 MS/MS 和干擾消除能力。 操作的串聯質譜儀，可提供準確分析最高純度半導體材料所需的靈敏度 8900 #200 配置專門設計用于半導體應用，與安捷倫冷等離子體技術相結 合，能夠提供靈敏度。穩健的等離子體、鉑尖接口錐和可選的惰性 (PFA) 樣品引入系統使其能夠輕松處理甚至最難以分析的半導體樣品和應用。 8900 體配置采用： 系統經過專門設計，寬度僅有 1060 mm，可節省潔凈室臺面空間。其半導 – 四個氬氣管線質量流量控制器和第五條氣體管線，用于增加可選氣體（例如 用于有機物的 O2/Ar 或用于激光剝蝕的 He 載氣） – 預設等離子體條件，保證日常每個操作人員的設置一致 – 氬氣流路經過專門設計，可減小硅和硫的背景信號，保證檢測限低 于 50 ng/L – 優化的接口真空設計和新型高傳輸率“s"型離子透鏡，提供了高純度半導體 試劑超痕量分析所需的靈敏度 – 用于所有典型半導體應用的方法、調諧和采集模板，其中包括用于低基質樣 品（如超純水 (UPW) 和過氧化氫）的行業標準冷等離子體模式
