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XTU-4C專業(yè)性能型膜厚儀介紹

閱讀:710        發(fā)布時間:2023-9-4

下照式微聚焦多準型,搭載*EFP算法軟件和微光聚集技術,配合切換準直器在檢測各微小及凹凸面樣品時檢出限更低,儀器壽命更長,性能更穩(wěn)定。

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XTU-4C是一款專業(yè)性能型鍍層測厚儀/膜厚測試儀/光譜測厚儀,下照式微聚焦多準型設計,搭載*EFP算法軟件和微光聚集技術,配合切換準直器在檢測各微小及凹凸面樣品時檢出限更低,儀器壽命更長,性能更穩(wěn)定。

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微聚焦加強型X射線裝置:可測試各類極微小的樣品,即使檢測面積為0.003mm2的樣品也可輕松、精準檢測

變焦裝置及位置補償算法:可對各種異性凹槽進行檢測,凹槽深度測量范圍可達0-30mm

自主研發(fā)EFP算法:多層多元素、各種元素及有機物,甚至有同種元素在不同層也可精準測量

微米級移動精度:高精密XY移動滑軌,實現(xiàn)多點位、多樣品的精準位移和同時檢測,移動精度可達5um,輕松應對極微小樣品檢測

*解譜技術:減少能量相近元素的干擾,降低檢出限


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