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[供應(yīng)]SUPEC 2050 半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)

貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2025-05-15 08:59:56

有效期:2025年5月15日 -- 2025年8月15日

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SUPEC 2050 半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)由采樣預(yù)處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測子系統(tǒng)以及輔助設(shè)備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構(gòu)成。

SUPEC 2050半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)由采樣預(yù)處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測子系統(tǒng)以及輔助設(shè)備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構(gòu)成:

采樣預(yù)處理子系統(tǒng):由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成,可以對多個點位進(jìn)行不間斷實時采樣,并通過管路切換實現(xiàn)不同采樣點樣氣的循環(huán)監(jiān)測。

氣體監(jiān)測子系統(tǒng):由多個分析儀組成,可以根據(jù)不同的監(jiān)測需求進(jìn)行定制化的搭配,實現(xiàn)不同物質(zhì)的在線監(jiān)測。

輔助系統(tǒng):由集成機(jī)柜和校準(zhǔn)單元組成,可以保證整套系統(tǒng)的正常運行,校準(zhǔn)單元可以定期對系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn),保證監(jiān)測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。

數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng):可以監(jiān)控查詢所有測量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息,并將監(jiān)測數(shù)據(jù)傳輸至企業(yè)的中控平臺。


性能優(yōu)勢

采樣覆蓋面廣

多點位同時采樣,覆蓋面廣,成本低,可支持200m點位監(jiān)測,多點位形成網(wǎng)格化分析體系。

輪巡速度快

系統(tǒng)具備預(yù)抽功能,節(jié)約管路傳輸?shù)却龝r間。

自由配置通道數(shù)量

系統(tǒng)可擴(kuò)展,可自由配置采樣點位數(shù)量。

樣品間干擾小

具備反吹功能.確保各路樣品互不影響,低殘留。

樣品超標(biāo)留樣

可搭配超標(biāo)留樣,系統(tǒng)可搭配蘇瑪罐留樣系統(tǒng),當(dāng)點位污染超標(biāo)時自動留樣。


應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)檢測



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