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日本三豐MITUTOYO 光柵式測微儀542-715
542 系列激光全息光柵式測微儀

LGH （0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力）
在 10mm 的寬范圍內實現了與激光干涉儀相同的 0.005μm 或 0.01μm 的高分辨力和高精度。
緊湊性的機身使得裝置本身小型化，不僅可以作為高精度零部件的測量以及高精度定位 · 控制裝置長度測量的傳感器，還適用于作為各種測量機的標

日本三豐MITUTOYO 光柵式測微儀542-715

542 系列激光全息光柵式測微儀

LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)
在 10mm 的寬范圍內實現了與激光干涉儀相同的 0.005μm 或 0.01μm 的高分辨力和高精度。
緊湊性的機身使得裝置本身小型化，不僅可以作為高精度零部件的測量以及高精度定位 · 控制裝置長度測量的傳感器，還適用于作為各種測量機的標準規。

也具有低測力規格產品：根據用途可以選擇低測力規格，可以測量易變形工件和高性能膠片等。

規格
分辨力 0.01μm、指示精度 0.2μm 類型

貨號		542-715 (標準型)	542-716 (低測力型)
型號		LGH-1010-B-EH	LGH-1010C-B-EH
測量范圍		10mm
分辨力		0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm 用計數器可切換)
指示精度 (20oC)*1		0.2μm
重復精度 (20oC)*1		0.1μm (2σ)
量化誤差 (20oC)*1		0.1μm
測力	測桿朝下	0.65N 以下	約 0.12N
	測桿水平	0.55N 以下	使用不可
	測桿朝上	0.45N 以下	使用不可
位置檢出方式		光電反射型線性編碼器
響應速度		通常測量時：700mm/sec 峰值檢測時：120mm/sec
重量		約 370g
測頭		硬質合金 S?3mm (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 標準測頭 No.901312
裝夾套筒		?15mm
軸承類型		高精度線性滾珠軸承
輸出電纜長度		約 2m
運行溫度 (濕度) 范圍		0Co ～ 40Co (基準溫度度 20Co) / 20 ～ 80%RH (無冷凝)
存儲溫度 (濕度) 范圍		? 10Co ～ 60Co / 20 ～ 80%RH (無冷凝)
計數器規格
顯示范圍		±999.99999mm
功能		調零、預調、方向轉換、公差判定 (3 段 / 5 段 )、RS-RINK
峰值保持功能		○
接口		RS-232C、USB (SENSORPAK )、Digimatic 輸出 (打印機 DP-1VA LOGGER)，I / O 電纜
外部出力		?RS-232C ：計數數據 · Digimatic 輸出：計數數據 ?I / O 電纜：計數數據 (簡易 BCD)，公差判斷結果，簡易模擬輸出
外部控制		調零、預調、數據保持，峰值測量模式切換，峰值清零
電源		附帶 AC 適配器 , DC ＋ 12 ～ 24V, MAX700mA
功耗		8.4W (MAX 700mA) 每個裝置的可靠供電應在 1A 以上
重量		約 900g (不包括 AC 適配器)
標準配件		扳手 (用于更換測頭)，橡膠腳墊，支架，墊圈 (用于計數器)，AC 適配器，交流電源線，DC 插頭，用戶手冊，檢驗證書

貨號		542-720 (標準型)	542-721 (低測力型)
型號		LGH-0510-B-EH	LGH-0510C-B-EH
測量范圍		10mm
分辨力		0.005μm (0.01, 0.05, 0.1μm 用計數器可切換)
指示精度 (20oC)*1		0.1μm
重復精度 (20oC)*1		0.02μm (2σ)
量化誤差 (20oC)*1		0.05μm
測力	測桿朝下	0.65N 以下	約 0.1N
	測桿水平	0.55N 以下	使用不可
	測桿朝上	0.45N 以下	使用不可
位置檢出方式		超高精度透射型線性編碼器
響應速度		250mm/sec
重量		約 370g
測頭		硬質合金 SR5 (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 標準測頭
裝夾套筒		?15mm
軸承類型		高精度線性滾珠軸承
輸出電纜長度		約 2m
運行溫度 (濕度) 范圍		15oC ～ 25oC (基準溫度度 20oC) / 30 ～ 60％ RH (無冷凝)
存儲溫度 (濕度) 范圍		? 10oC ～ 60oC / 20 ～ 80％ (無冷凝)*2
計數器規格
顯示范圍		±99.999995mm
功能		調零、預調、方向轉換、公差判定 (3 段 /5 段)、RS-RINK
峰值保持功能		×
接口		RS-232C、USB (SENSORPAK )、Digimatic 輸出 ( 打印機 DP-1VA LOGGER)，I / O 電纜
外部出力		?RS-232C ：計數數據 · Digimatic 輸出：計數數據 ?I / O 電纜：計數數據 (簡易 BCD)，公差判斷結果，簡易模擬輸出
外部控制		調零、預調、數據保持
電源		附帶 AC 適配器 , DC ＋ 12 ～ 24V, MAX700mA
功耗		8.4W (*大 700mA) 每個裝置的可靠供電應在 1A 以上
重量		約 900g (不包括 AC 適配器)
標準配件		扳手 (用于更換測頭)，橡膠腳墊，支架，墊圈 (用于計數器)，AC 適配器，交流電源線，DC 插頭，用戶手冊，檢驗證書

日本三豐數顯千分尺 293-257-10

日本三豐數顯千分尺 314-251-10

日本三豐數顯千分尺 314-252-10

日本三豐數顯千分尺 314-253-10

日本三豐數顯千分尺 314-262-10

日本三豐數顯千分尺 323-253

日本三豐數顯千分尺 324-251-10

日本三豐數顯千分尺 324-252-10

日本三豐數顯千分尺 324-253-10

日本三豐數顯千分尺 324-254-10

日本三豐數顯千分尺 326-252-10

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