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詳細介紹
日立紫外清洗設備ZONESEMⅡ
日立紫外清洗設備是利用紫外光和臭氧對樣品表面污染物進行清理的前處理設備，主要針對樣品表面的有機污染物，相比等離子清洗更加溫和，對樣品損傷小。
清洗系統:
2種清洗模式
真空清洗和真空儲存
清洗時間范圍為1min-24h（步幅1min）
真空系統:
無油真空系統（隔膜泵9L/min）
3min內達到所需真空度
真空范圍為100-500torr(100步)
清洗倉:
樣品尺寸: 100mm (直徑) x 36mm (高)
適合于各型號掃描電鏡
有效清理區域達100 mm
日立科學儀器（北京）有限公司為您提供 日立紫外清洗設備ZONESEMⅡ的參數、價格、型號、原理等信息， 日立紫外清洗設備ZONESEMⅡ產地為日本、品牌為日立，型號為ZONESEMⅡ，價格為面議，更多相關信息可，公司客服電話7*24小時為您服務
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