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喬邦 X射線鍍層膜厚儀技術指標
X射線激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源
探測器及分辨率：SDD探測器，分辨率140±5eV
分析元素范圍：原子序數16（S）～92（U）
分析元素及層數：一次可同時分析多達24種元素及5層鍍層
分析厚度范圍：檢測覆蓋層厚度一般在50μm以內
檢出限：鍍層金屬元素厚度薄可達0.005μm
定位精度：0.001mm
測量時間：10s及以上
樣品平臺移動范圍：120mm×120mm
樣品腔升降平臺移動高度：0～150mm
工作環(huán)境要求
工作電源：交流220±5V
周圍不能有強電磁干擾
環(huán)境溫度要求：15℃～30℃
環(huán)境相對濕度：<70%
喬邦X射線鍍層膜厚儀性能優(yōu)勢
1.精密的三維移動平臺
2.的樣品觀測系統
3.*圖像識別
4.輕松實現深槽樣品的檢測
5.四種微孔聚焦準直器，自動切換
6.雙重保護措施，實現無縫防撞
7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度
全自動智能控制方式，一鍵式操作!
開機自動自檢、復位；
開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣；
關蓋推進樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦；
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