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Alicat質量流量控制器助力MDC氣體輸送模塊
閱讀：581 發布時間：2019-12-25
Alicat MCE系列真空氣體質量流量控制器已經集成到MDC的真空產品XpressStick™MFC氣體棒中。
Alicat MCE系列真空氣體質量流量控制器可以精確控制高達20SLPM的氣體流量，為氣體輸送模塊提供氣體編譯功能，將壓力氣體輸入到真空室。
1、MCE系列質量流量控制器的精準控制
Alicat MCE系列真空氣體質量流量控制器精確控制氣體流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。
通過20到50毫秒的控制響應時間來改變設定值，MCE系列真空氣體質量流量控制可以改善真空鍍膜終端產品。
2、MCE系列質量流量控制器的應用原理
XpressStick MFC氣體棒的一體化設計消除了復雜的硬件規格。專為超高純度的工藝要求，XpressStick也提供用于腐蝕性環境的不銹鋼模型。
隨著MCE系列真空氣體質量流量控制器的零預熱時間，XpressStick可以在一秒鐘內控制工藝流程，實時檢測質量流量、體積流量、壓力和溫度，*補償外界溫度和壓力的影響。
氣體模塊直接通過MCE系列真空氣體質量流量控制器的集成顯示進行編譯，使用車載氣體校準可以輕松地更改氣體類型。
3、客戶反饋
MDC技術副總裁James Moore說：“在為我們的XpressStick選擇質量流量控制器時，快速響應時間、準確性和可靠性都是關鍵的標準。根據Alicat的經驗，我們知道他們可以滿足這些要求。”
Alicat質量流量控制器、壓力控制器在世界各地的真空鍍膜工藝中廣泛應用。