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　　超純水機概述及工藝比較

　　電子工業用超純水機概述

　　半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水機清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

　　用兩級反滲透制取

　　電子工業超純水機處理設備采用兩級反滲透主機加EDI；

　　制取電子工業超純水機處理設備；

　　制備電子工業用超純水機的工藝流程。