對于耐腐蝕限位開關而言，微動開關驅動機構是直接關系到密封性能和操作特性的重要部件。其結構分為三類。

　　(1)活塞式耐腐蝕限位開關

　　根據密封方式的不同，表中有A型和B型兩種。A型采用O型圈或薄膜密封。由于密封膠不外露，因此更能抵抗工作機械的切屑。但是，它的負面影響是可能會將沙子、切屑等壓入活塞中。滑動面。B型雖然不會壓砂、切屑等，密封性能比A型好，但可能會因熱切屑飛濺而損壞膠帽。因此，需要根據使用場所的不同選擇A型或B型。柱塞式仍然通過柱塞的往復運動來壓縮或吸入空氣。為此，如果長時間壓入柱塞，限位開關內的壓縮空氣就會逸出，內部壓力與大氣壓相同。即使柱塞急切復位，柱塞也有緩慢復位的趨勢。為了避免這種故障的發生，在設計中，根據柱塞的壓力，將空氣壓縮量控制在限位開關內總風量的20%以內。此外，為了延長微動開關的使用壽命，該結構內部安裝了OT吸收機構。OT吸收機構使用OT吸收彈簧來吸收剩余的柱塞行程。相對于柱塞運動的機構停止按壓中間的微動開關以輔助柱塞的行程。

　　(2)鉸接擺桿式

　　在擺桿（球）的末端，柱塞的行程按擺桿的比例放大。因此，一般不使用OT吸收機制。

　　(3)旋轉擺桿式耐腐蝕限位開關

　　但除此之外，還有兩種類型：一種是將柱塞復位功能分配給柱塞的類型；螺旋彈簧獲得恢復力并通過凸輪驅動輔助柱塞的類型。