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等離子清洗機(jī)的流量控制器如何選擇

閱讀:1315      發(fā)布時(shí)間:2023-10-12
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  常壓大氣型等離子清洗機(jī)通常會(huì)選用帶有流量控制器的專用氣源來為設(shè)備提供穩(wěn)定的工藝氣體,而低壓真空型的等離子清洗機(jī)則會(huì)使用質(zhì)量流量控制器來實(shí)現(xiàn)對(duì)通入工藝氣體的流量控制,其中低壓真空型等離子清洗機(jī)的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間,不過隨著等離子清洗機(jī)的規(guī)格大小流量控制范圍也會(huì)有一定的區(qū)別,例如一些大型的低壓真空等離子清洗機(jī)也會(huì)使用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。那么我們?cè)撊绾尉唧w地根據(jù)等離子清洗機(jī)的實(shí)際情況,來選擇流量控制器呢?
  選擇流量控制器的理由
  因?yàn)樵诘入x子清洗機(jī)中通入的工藝氣體可能存在著不同,所以在選擇時(shí)也建議采用相應(yīng)的氣體專用質(zhì)量流量控制器,以保證輸入氣體能夠有著穩(wěn)定的計(jì)量。之所以要選擇專用的流量控制器,這是因?yàn)楦鶕?jù)所使用的工藝氣體不同也意味著氣體分子的大小不同,再加上其化學(xué)性質(zhì)的差異也很大,在這種情況下,如果使用相同規(guī)格的流量控制器就會(huì)產(chǎn)生一定的流量誤差以及安全隱患。
  另外,如果使用的是常規(guī)工藝氣體,就可以選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn),在這里只需要保障氣體流量的穩(wěn)定性。而需要注意的是,如果使用的如氫氣、四氟化碳這類特殊氣體或其他易燃易爆、具有腐蝕性的工藝氣體,就一定要使用專用的質(zhì)量流量控制器設(shè)備。
  選擇浮子流量計(jì)的原因
  實(shí)驗(yàn)型低壓真空等離子清洗機(jī),它是一種全手動(dòng)操作的設(shè)備,但同時(shí)對(duì)于流量控制要求不算嚴(yán)苛,一般會(huì)使用到手動(dòng)浮子流量計(jì)。
  在低壓真空等離子清洗機(jī)中需要保證真空的反應(yīng)腔體壓力的穩(wěn)定,所以在選用好適合的氣體流量控制器后,還應(yīng)該注意到氣管接頭的選用。通常來說我們會(huì)使用到快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭,以保證工藝氣體真空管路的密封性。
  而當(dāng)處理的是一些特殊材料時(shí),可能會(huì)把液態(tài)單體作為一種放電介質(zhì),這時(shí)就一定要使用手動(dòng)浮子流量計(jì)作為流量控制器。對(duì)于帶腐蝕性的液態(tài)單體則需要使用防腐型的浮子流量計(jì),而對(duì)真空環(huán)境要求較高的則建議使用高密封性的浮子流量計(jì)。

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