Sievers* 500 RLe 在線TOC 分析儀的特點介紹,參數和應用。
Sievers* 500 RLe 在線TOC分析儀是半導體工業的在線、無試劑的TOC分析儀，能夠準確測定引起問題的化合物，例如尿素、*基胺（TMA）、有機酸與有機堿。
在線總有機碳（TOC，Total Organic Carbon）分析儀應盡可能簡單，但是不能簡單到，將制造操作暴露在不可預期的風險中，并且存在檢測不到的有機中間產物。近，某家領導性的半導體液浸式光刻工具生產商已經要求，其光刻工具給水的所有TOC檢測要包含準確的超純水（UPW）中的有機氮化合物的檢測。一些品牌的TOC分析儀不能檢測到超純水中普遍存在的有機氮化合物，比如尿素，或*基胺TMA1,2。500RLe能夠準確、重復性很好測定這些化合物，滿足此項新的TOC性能要求。
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