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PicoFemto真空低溫探針臺

第1部分：系統(tǒng)及指標描述

1、總體規(guī)格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10^-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10^-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個探針臂。調節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調焦和光學調焦

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖

（6）系統(tǒng)直流漏電低于1pA

3、含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同，照片僅供參考）

PicoFemto真空低溫探針臺

第2部分：真空低溫探針臺系統(tǒng)配置

- 探針臺真空腔主體（50mm，4探針臂，含流量調節(jié)杜瓦）
- 鐵制抗震支架

- 進口分子泵機組（Edwards T-Station 85，含全量程真空規(guī)、隔震塊）

- 視頻顯微鏡（含LED光源、調節(jié)支架、高清攝像頭與高清顯示器）

- Triax低噪聲線纜

- 10um探針

- 智能溫控儀PicoFemto SmartT

- 備用各規(guī)格螺絲（套）

- 安裝與現(xiàn)場培訓