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PicoFemto閉循環液氦變溫探針臺,物理實驗室探針臺,可定制探針臺系統，整套系統包括探針臺主體、4K液氨制冷機、視頻顯微鏡、針座、探針線纜、直流探針、溫控儀、真空機組等配置

探針臺主體

- 樣品臺尺寸：50mm

- 6個探針臂：4個直流，2個30G射頻

- 直流超低漏電底柵接口，標準Triax輸出

- 變溫范圍：9K~350K

- 極限真空度優于1E-3Pa

- 氣浮減震支腿

- 降溫時間：2小時

4K液氦制冷機

- 住友液氦閉循環制冷機，含循環冷水機組

- 一級冷頭:35 W @ 50 K

- 二級冷頭:1.5 W@ 4.2 K

- 降溫時間：1個小時

視頻顯微鏡

- Thorlabs 6.5X變焦鏡頭，LED環形照明

- 物鏡0.7~4.5倍連續變倍，

- 工作距51mm，分辨率3.1um

- 配高清HDMI攝像頭，總放大倍率約700倍

針座

- XYZ移動范圍：25mm

- 移動分辨率優于5um

- 可選射頻探針

探針線纜

- 超低漏電探針設計，漏電流低于100fA

- Triax標準接口輸出

- Keithley原裝低噪聲Triax線纜

直流探針

- 超低漏電探針設計，針尖直徑標配10um，可選小1um

溫控儀

- 雙通道溫度控制儀

- 測溫分辨率1mK，

- 大加熱功率50W

- 溫度穩定性：優于±0.01K

- 帶LabVIEW 驅動

真空機組

- Edwards T-Station 85 分子泵機組，含全量程真空規

- 30分鐘系統真空達到可用狀態

PicoFemto閉循環液氦變溫探針臺