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AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個獨立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定更是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對AMC的控制，對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求，對各種污染物質(zhì)的要求當(dāng)前總的說法是控制在亞pptm～1pptm間。

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減少主機負(fù)荷，降低能源消耗。.防止發(fā)生腐蝕，延長設(shè)備使用壽命。主機清洗的原理1.物理清洗：通過物理的或機械的方法對循環(huán)水系統(tǒng)或其設(shè)備進(jìn)行清洗的一類清洗方法。常用的物理清洗方法有主機通炮，即通過壓縮空氣或人工把沖桿、橡膠塞、尼龍刷或圓鋼等工具通過換熱器管子內(nèi)，以除去管內(nèi)的沉積物或堵塞物。化學(xué)清洗：通過化學(xué)藥劑的作用使被清洗設(shè)備中的沉積物溶解、疏松、脫落或剝離的一類清洗方法。常用的化學(xué)清洗方法有酸洗、堿洗、絡(luò)合劑清洗、殺菌清洗等。
COMER離心機：是歐洲螺桿式壓縮機現(xiàn)冷水機組的，其中漢鐘壓縮機行銷，國內(nèi)*長年維持，成功于27年在深圳A股掛牌上市。COMER離心機組特點：機組使用R134a冷媒。R134a是HFC工質(zhì)，為*環(huán)保冷媒，沒有使用年限限制。R134a為正壓冷媒，不需要抽氣裝置，且機房設(shè)計簡單。機組內(nèi)置油冷卻器，以冷媒冷卻，無需維修。使用獨立的回油系統(tǒng)（噴射泵回油），任務(wù)負(fù)荷情況下均保證及時回油。
不過在真空管路或特殊情況下可以反裝。如果介質(zhì)會起水錘現(xiàn)象，那么應(yīng)該選用具防水錘功能的電磁閥或采取相應(yīng)的防范措施。盡量不要讓電磁閥長時間處于通電狀態(tài)，這樣容易降低線圈使用壽命甚至燒壞線圈，就是說，常開、常閉電磁閥不可互換使用。蒸汽用電磁閥入口側(cè)應(yīng)裝有疏水閥，該處接管應(yīng)傾斜。電磁閥的常見故障與排除:電磁閥通電后不工作：檢查電源接線是否不良重新接線和接插件的連接；檢查電源電壓是否在工作范圍內(nèi)-調(diào)到正常位置范圍；檢查線圈是否脫焊重新焊接；線圈短路更換線圈；工作壓差是否不合適調(diào)整壓差或更換相稱的電磁閥；流體溫度過高更換相稱的電磁閥；有雜質(zhì)使電磁閥的主閥芯和動鐵芯卡死進(jìn)行清洗,如有密封損壞應(yīng)更換密封并安裝過濾器；液體粘度太大,頻率太高和壽命已到更換產(chǎn)品。
不過在真空管路或特殊情況下可以反裝。如果介質(zhì)會起水錘現(xiàn)象，那么應(yīng)該選用具防水錘功能的電磁閥或采取相應(yīng)的防范措施。盡量不要讓電磁閥長時間處于通電狀態(tài)，這樣容易降低線圈使用壽命甚至燒壞線圈，就是說，常開、常閉電磁閥不可互換使用。蒸汽用電磁閥入口側(cè)應(yīng)裝有疏水閥，該處接管應(yīng)傾斜。電磁閥的常見故障與排除:電磁閥通電后不工作：檢查電源接線是否不良重新接線和接插件的連接；檢查電源電壓是否在工作范圍內(nèi)-調(diào)到正常位置范圍；檢查線圈是否脫焊重新焊接；線圈短路更換線圈；工作壓差是否不合適調(diào)整壓差或更換相稱的電磁閥；流體溫度過高更換相稱的電磁閥；有雜質(zhì)使電磁閥的主閥芯和動鐵芯卡死進(jìn)行清洗,如有密封損壞應(yīng)更換密封并安裝過濾器；液體粘度太大,頻率太高和壽命已到更換產(chǎn)品。


輔助電源支持AC/DC11/22V，AC38V。測量功能分為基本測量（電流參數(shù)）和增選測量（電壓、功率、相序、剩余電流（接地/漏電流））。具有過載、堵轉(zhuǎn)、阻塞、欠載、斷相、不平衡、剩余電流（接地/漏電）、溫度、外部故障、相序、過壓、欠壓、欠功率、tE時間等的電動機綜合保護(hù)功能。8路DI無源干節(jié)點輸入，信號電源采用內(nèi)置DC24V電源。4路DO輸出，滿足直接起動，星三角起動，自耦變壓器起動，軟起動等多種起動方式，通過通訊總線可實現(xiàn)遠(yuǎn)程主站對電動機進(jìn)行實時遙控起/停操作。