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2025/07/19
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氦質譜檢漏是設備出廠前密封性檢測的關鍵環節，采用氦氣作為示蹤氣體，通過質譜儀檢測微量氦離子信號實現高精度泄漏定位。其靈敏度可達10?13Pa·m3/s量級，適用于航天器、新能源電池等高要求場景。檢測時通過真空或正壓模式（如噴吹法、吸槍法）快速定位漏點，自動化系統可同步完成多工位檢測，效率提升50%以上。該技術能有效保障設備在高真空環境下的密封可靠性，已成為制造領域的質量管控標配。
