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直線四探針法測量硅片電阻率的試驗方法RTS9四探針測試儀
閱讀：332 發布時間：2020-2-8| 提 供 商 | 天津諾雷信達科技有限公司 | 資料大小 | 1.2MB |
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RTS-9型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規四探針測量方法所生產的儀器是無法實現的。
RTS-9軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態下，通過計算機的并口實現通訊。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析