善準等離子清洗機詳細技術參數

名稱：等離子清洗機

品牌：廣州善準科技有限公司

型號：VP-R3

技術規(guī)格：

1、腔體材質：石英玻璃

2、腔體容量：Φ150×200Lmm

3、*射頻電源功率：160W

4、*射頻頻率：13.56MHz

5、頻率偏移量：小于0.2KHz

6、等離子體轟擊：從四周向中間

7、等離子體激發(fā)：觸摸屏一鍵自動啟動

8、*腔體內溫度：滿功率運行30分鐘腔體溫度＜32℃

9、清洗時間：0- 1800 s 可調，精確到1秒

10、功率調節(jié)：高中低三檔可調

11、顯示屏：4.3英寸觸摸屏

12、*操作控制：觸摸屏控制，并提供中英文兩種操作界面

13、氣體流量計：高精密2路浮子流量計

14、提供進氣通路：兩路進氣，氣體流量 0-300ml/min可調（常用氣體：氬氣，氧氣，氮氣，氫氣，其他混合氣體）

15、進氣管：兩根6x4PU管，尾端配6轉6快擰接頭

16、泄壓：清洗完成自動泄壓，泄壓時長和速度可調。可提供氮氣或其他氣體泄壓通道（選配）

17、真空泵真空度：0.5Pa

18、抽速：4m3/h

19、噪音：52dB

20、抽真空時間：啟動到發(fā)出輝光≤50秒

21、*真空檢測：數字顯示，實時觀察腔體真空度狀態(tài)

22、*泄漏檢測：觸摸屏上有一鍵泄漏檢測功能

23、冷卻方式：強制風冷

24、腔體門：帶可視窗高強度鋁合金，并在觸摸屏上自動識別開/關

25、*真空泵控制：主機與真空泵聯(lián)動，可在主機觸摸屏控制真空泵開啟/關閉

26、供電電源：AC220V/50Hz

27、箱體平衡：減震橡膠腳杯

28、機箱尺寸LxWxH：560x450x360mm

29、*溫度控制：在等離子激發(fā)頻率為13.56MHz的情況下，在滿功率運行30分鐘后清洗腔內溫度不高于32℃，清洗過程不損傷樣品本身的性能

30、*質保期：主機2年，真空泵1年

31、配置：主機VP-R3、雙級旋片真空泵、2米波紋管、清洗托盤、說明書、合格證、保修卡、外接氣管2根