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真空泵專用油：
真空泵油作用，潤滑：相對運動件間的潤滑，降低磨損。密封：防止大氣進入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封（轉子與定子、旋片與轉子槽等）。冷卻：油在泵內與油箱間循環，散熱、冷卻。攜裹：將磨損產生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害。保護：形成保護性油膜，避免水及化學蒸汽凝結物腐蝕泵內部件
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真空泵油：
真空泵油：
真空泵油作用，潤滑：相對運動件間的潤滑，降低磨損。密封：防止大氣進入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封（轉子與定子、旋片與轉子槽等）。冷卻：油在泵內與油箱間循環，散熱、冷卻。攜裹：將磨損產生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害。保護：形成保護性油膜，避免水及化學蒸汽凝結物腐蝕泵內部件。極低的蒸汽壓這是真空泵油重要性能，由于真空泵要求真空度達到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求達到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸發性極低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
合適的粘度良好的粘溫特性真空系統利用泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。良好的熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，使系統內蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的熱氧化安定性。
較高的閃點要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。良好的抗腐蝕性與抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內金屬零件與油發生化學變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。
真空泵油和一般機油有很大差別，所以使用真空泵油應該注意，要根據設備制造商用油規定，選用適當使用性能和粘度等級的真空泵油。為保證真空系統的正常工作，在使用及儲運過程中要防止污染物如機械雜質及水的進入，以免影響真空油的使用壽命和系統的正常工作。殘油往往含有大量的污染物和老化產物，嚴重地影響新油的使用質量和壽命，因此在換油時，油箱及油路要清洗干凈。將新油從泵的吸氣口倒入，并用手緩慢地轉動泵軸，清掃泵腔并將殘油排盡，須重復清洗劑幾次。