Thermionics 3KW多坩堝旋轉電子槍真空組件
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Thermionics 3KW多坩堝旋轉電子槍真空組件
RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™
| 根據需要選擇
4
6
8 |
|---|
| 根據需要選擇
2.24cc
4毫升 |
|---|
| 根據需要選擇
右舵駕駛
左舵駕駛
后驅
底部驅動 |
|---|
RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™
新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉電子槍™提供增強的光束穩定性和高效的 XY 掃描，坩堝覆蓋，自動分度器（單獨出售）提供自動定位功能。
特征
真正的 XY 清掃，坩堝覆蓋
源附帶的掃頻線圈
增強的光束準直
插件發射器模塊
增強的高穩定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設計
可選的自動索引器
多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同，具有以下優點：
蒸發劑供應量大 — 當每個坩堝都填充相同的源材料時，可以在單個真空循環中蒸發增加的蒸發劑體積。
在一個真空循環中沉積多達八種不同的材料 — 可以在一個真空循環中將不同的材料放入每個坩堝中，并按任何順序沉積。沉積速率與單個坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止，坩堝頭由驅動手柄分度到位。因此，蒸發總是來自真空室中的相同的位置。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝隔開，從而消除了坩堝之間的污染。
兼容高真空
金屬和彈性體密封件，測量的基壓：2 x 10-9托。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部拆下，而無需拆卸源。這種靈活性允許現場升級。
所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上，單個或背對背。
規格
| 工作壓力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇 |
| 光束電壓 | 4,000 伏 |
| 束流 | 0–750 mA 連續可變 |
| 最大功率 | 3,000 瓦 |
| 冷卻水 | 1.5 加侖/分鐘 |
| 最大烘烤溫度 | 120°C （150°F） |
| 坩堝體積 | 2.24 cc x 4、6 或 8 個坩堝 |
安裝配置
每個 e-Gun™ 都提供三種標準安裝配置：
請在下訂單時安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。
通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀，請致電工廠了解更多信息。
| 型號 | 坩堝 |
|---|
| RCR0304-SD | 4 |
| RCR0304-BD | 4 |
| RCR0306-SD | 6 |
| RCR0306-BD | 6 |
| RCR0308-SD | 8 |
| RCR0308-BD | 8 |
注意：SD 表示側驅，BD 表示底驅
Thermionics 3KW多坩堝旋轉電子槍真空組件
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