亚州一区二区三区中文字幕国产精品-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-亚洲中文字幕久久无码精品-午夜精品亚洲一区二区三区嫩草-日韩人妻一区二区三区蜜桃视频-国产一区二区精品高清在线观看-国产欧美日韩综合精品一区二区

您好, 歡迎來到化工儀器網

| 注冊| 產品展廳| 收藏該商鋪

400-998-1966

technology

首頁   >>   技術文章   >>   中北大學:PμSL 3D打印助力MEMS仿生矢量水聽器的制備

深圳摩方新材科技有限公司

立即詢價

您提交后,專屬客服將第一時間為您服務

中北大學:PμSL 3D打印助力MEMS仿生矢量水聽器的制備

閱讀:1213      發布時間:2022-7-27
分享:



近日,受水母聽石結構對超低頻聲信號響應靈敏的啟發,中北大學王任鑫副教授、張文棟教授課題組開發了一種新穎的壓阻式仿生矢量水聽器(OVH),其核心敏感結構為頂端集成空心球體的仿生纖毛(密閉中空球外徑1mm,內徑530μm,直桿粗350μm,高3.5mm),基于摩方精密PμSL 3D打印技術(nanoArch P130,光學精度2μm)制備而成。OVH接收靈敏度達-202.1 dB@100 Hz(0 dB@1 V/μPa),工作頻帶為20-200Hz,OVH的平均等效聲壓靈敏度達到-173.8 dB,能耐10 MPa靜水壓力,顯示出OVH在低頻水聲探測的應用潛力。該成果以“Design and implementation of a jellyfish otolith-inspired MEMS vector hydrophone for low-frequency detection"為題發表在Microsystems & Nanoengineering上。


圖1 工作示意圖


仿真分析OVH敏感微結構梁上的應力分布,OVH的最大應力高于之前研制的LVH、CuVH和WIVH。


圖2 敏感微結構梁上應力的仿真


圖3 OVH十字梁敏感微結構的MEMS工藝流程圖


MEMS工藝流程如下:


SOI上熱氧化

第1次光刻,刻蝕氧化硅,剩余40nm

離子注入B,形成輕摻雜壓阻區

第2次光刻,離子注入B,形成重摻雜區

去除表層氧化硅,退火,修復晶格,激活雜質

濺射金屬,第3次光刻,腐蝕,合金退火,形成歐姆接觸

第4次光刻,正面淺刻蝕,形成纖毛粘接槽

第5次光刻,正面刻蝕硅器件層,直至埋氧層,得到十字梁結構

第6次背面光刻,背面刻蝕氧化層、硅襯底層及埋氧層,釋放十字梁結構

圖4 OVH的實驗測試結果


圖4.a-4.c可以清楚看到十字梁微結構以及與聽石狀纖毛。3D打印的聽石狀纖毛形狀完好,可以與十字梁微結構對準集成。圖4.d-4.e為MEMS水聽器的接收靈敏度-頻率響應曲線和OVH的100 Hz指向性圖。圖4.f-4.h為對OVH進行的耐靜水壓力測試,驗證了OVH能在10MPa水壓力環境下正常工作。需要指出的是,基于摩方精密公司PμSL 3D打印技術制備的聽石狀纖毛形狀和參數可調控,且制備的密閉中空球可承受10MPa靜水壓力,這一結果有望進一步將PμSL 3D打印技術拓展至其他水下傳感器的應用。





會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 吉水县| 灵武市| 马边| 青河县| 昌江| 南阳市| 宣武区| 贡觉县| 榆林市| 榕江县| 朝阳县| 休宁县| 基隆市| 芮城县| 林周县| 昌邑市| 建平县| 米林县| 贞丰县| 鄂伦春自治旗| 常州市| 翁牛特旗| 安远县| 霞浦县| 金秀| 那曲县| 麻阳| 始兴县| 金塔县| 昌都县| 福清市| 南涧| 湾仔区| 九龙坡区| 图们市| 白沙| 孝义市| 高尔夫| 三都| 盐城市| 临城县|