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技術文章

潔凈室用灰塵、灰塵、劃痕檢查燈介紹

閱讀：5593          發布時間：2023-8-1

潔凈室用灰塵、灰塵、劃痕檢查燈介紹

袖珍便攜式緊湊型潔凈室燈迷你N。
名稱已從傳統的潔凈室燈迷你更改，并且規格已更新！
功率和以前一樣，雖然很小，但不會降低照度，強光會帶出灰塵、灰塵、劃痕等！
此外，通過使用LED實現低成本和長壽命，工人可以擁有自己的燈進行日常檢查，清潔期間
的檢查等，并且更容易清潔！
光調光有三個級別，并且可以收集和擴散光，所以如果你有一個，你可以根據使用區域使用它！

1. 潔凈室燈迷你N使用示例
image.png

（1）檢查

風淋室內部 當我用潔凈室
燈Mini N檢查
風淋室的內部時，有堆積的垃圾。		image.png

（2）清潔后檢查
地板 如果您在清潔前后用Mini N檢查
潔凈室，則可以了解
清潔的重要性
。		image.png

（3）
確認氣流 可以使用氣流可視化設備“迷霧
夢"一起
檢查
正壓和負壓！



image.png 

（4）檢查

無法到達的天花板如果您使用無法到達的天花板選項，則可以看到
灰塵！
在天花板上的灰塵落下之前采取措施！
image.png 

（5）
檢查難以看到的縫隙 縫
隙不可見的地方往往是灰塵的
溫床。
讓我們使用迷你N清潔！		image.png

（6）用于
檢查隱形劃痕
迷你N不僅
檢查灰塵和灰塵，還可以帶出看不見的
劃痕！
  

2.與其他公司的小燈比較
~晶圓上的灰塵能看到多遠？ ~


image.png

我們在相同條件下比較了潔凈室燈迷你N和其他公司的小型燈。
如上圖所示，您可以看到潔凈室燈迷你N壓倒性地顯示異物。
由于它以相同的角度照射，因此您可以看到潔凈室燈迷你N的光強度有影響。


我們能看到多遠的晶圓上的灰塵？ 用粗粒子計數器驗證！ ！！


image.png

它被光照亮，但我很好奇它能被看到多遠。
因此，我們用粗粒子計數器“RACCAR"測量了上述晶圓。

結果，發現可以看到小于30μm的灰塵！ ??！

RACCAR可以對30μm或更大的異物進行分類。
看上表，我們可以看到有30種大于34μm的異物。
與實際的晶圓圖像相比，測量值似乎很小，因為可以看到小于30μm的異物。
由此，您可以了解到，如果條件良好，
可以使用潔凈室燈迷你N確認小于30μm的異物。


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