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技術文章

潔凈室用灰塵、灰塵、劃痕檢查燈介紹

閱讀:5593          發布時間:2023-8-1

潔凈室用灰塵、灰塵、劃痕檢查燈介紹

袖珍便攜式緊湊型潔凈室燈迷你N。
名稱已從傳統的潔凈室燈迷你更改,并且規格已更新!
功率和以前一樣,雖然很小,但不會降低照度,強光會帶出灰塵、灰塵、劃痕等!
此外,通過使用LED實現低成本和長壽命,工人可以擁有自己的燈進行日常檢查,清潔期間
的檢查等,并且更容易清潔!
光調光有三個級別,并且可以收集和擴散光,所以如果你有一個,你可以根據使用區域使用它!

1. 潔凈室燈迷你N使用示例
image.png

(1)檢查


風淋室內部 當我用潔凈室
燈Mini N檢查
風淋室的內部時,有堆積的垃圾。
image.png

(2)
清潔后檢查
地板 如果您在清潔前后用Mini N檢查
潔凈室,則可以了解
清潔的重要性
。
image.png

(3)

確認氣流 可以使用氣流可視化設備“迷霧
夢"一起
檢查
正壓和負壓!



image.png 

(4)檢查

無法到達的天花板如果您使用無法到達的天花板選項,則可以看到
灰塵!
在天花板上的灰塵落下之前采取措施!

image.png 

(5)
檢查難以看到的縫隙 縫
隙不可見的地方往往是灰塵的
溫床。
讓我們使用迷你N清潔!
image.png

(6)用于
檢查隱形劃痕
迷你N不僅
檢查灰塵和灰塵,還可以帶出看不見的
劃痕!
  

2.與其他公司的小燈比較
~晶圓上的灰塵能看到多遠? ~


image.png

我們在相同條件下比較了潔凈室燈迷你N和其他公司的小型燈。
如上圖所示,您可以看到潔凈室燈迷你N壓倒性地顯示異物。
由于它以相同的角度照射,因此您可以看到潔凈室燈迷你N的光強度有影響。



我們能看到多遠的晶圓上的灰塵? 用粗粒子計數器驗證! !!


image.png

它被光照亮,但我很好奇它能被看到多遠。
因此,我們用粗粒子計數器“RACCAR"測量了上述晶圓。

結果,發現可以看到小于30μm的灰塵! ??!

RACCAR可以對30μm或更大的異物進行分類。
看上表,我們可以看到有30種大于34μm的異物。
與實際的晶圓圖像相比,測量值似乎很小,因為可以看到小于30μm的異物。
由此,您可以了解到,如果條件良好,
可以使用潔凈室燈迷你N確認小于30μm的異物。


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