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四探針低電阻率檢測(cè)儀四探針低電阻率檢測(cè)儀描述：
采用四探針組合雙電測(cè)量方法，液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)參考國(guó)標(biāo)單晶硅物理測(cè)試方法及 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.
1.方塊電阻 10^-5～2×10^5Ω/□
2.電阻率 10^-6～2×10^6Ω-cm
3.測(cè)試電流 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度 ±0.1%
5.電阻精度 ≤0.3%
6.顯示讀數(shù) 屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式 雙電測(cè)量
8.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W
9.誤差 ≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
10.選購(gòu)功能 選購(gòu)1.pc軟件； 選購(gòu)2.方形探頭； 選購(gòu)3.直線形探頭； 選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻.
11.測(cè)試探頭 探針間距選購(gòu)：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針
12.標(biāo)準(zhǔn)電阻（選購(gòu)） 規(guī)格：1mΩ、10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ

1.方塊電阻范圍：10-4～2×103Ω/□

2.電阻率范圍：10-5～2×104Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：10μA，100?A，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.2%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 普通單電測(cè)量

8.工作電源:輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W