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honeywell氣體質量流量傳感器概述
AWM700 系列氣體質量流量傳感器， 放大; 流量/壓力范圍：±300 SLPM; 接口類型：22 mm。
AWM700 系列補償/放大氣體質量流量傳感器憑借特殊設計的旁路流量外殼，可實現同軸流量測量。傳感器可測量高達 300 標準升/每分鐘 （SLPM） 的流量，同時通常產生壓降 1 inH2O。
產品簡介
詳細介紹
honeywell氣體質量流量傳感器概述
AWM40000 系列氣體質量流量傳感器， 放大， 流量/壓力范圍：+ 1000 SCCM; 接口類型：岐管。
微橋氣體質量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質量流量經引導流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進出口的空氣或其他氣體質量成正比。橋結構能夠快速靈敏地響應流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。
封裝的機械設計能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。
微橋氣體質量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。
芯片置于j確規格的氣流通道，提供可重復的流量響應。
微橋式氣體質量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實現對氣流的極速響應及高靈敏度。
加熱器電路通過提供與質量流量成正比的輸出，*地降低環境溫度變化導致的輸出變化。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應。
honeywell氣體質量流量傳感器技術規格