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半導體行業超聲波流量計潔凈室環境中的高優先事項之一是避免溶解的金屬對流動介質（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。
潔凈室環境中的高優先事項之一是避免溶解的金屬對流動介質（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。
因此，FLEXIM開發了一種*超聲儀，非常適合于以下應用：
FLUXUS半導體的設計和制造不含任何金屬組件。此外，由于將其安裝在彈性管或彈性管的外部，因此不會侵入，不會直接與介質接觸，因此永遠不會有任何泄漏或污染的可能性。此外，無需進行昂貴的安裝過程停機，并且系統本身幾乎無需維護。
可靠性和準確性是FLEXIM的基石之一。即使安裝在彈性管上，FLUXUS半導體也不例外。特殊的夾具可確保穩定耐用的安裝，多年來可提供的精度。
因此，FLUXUS半導體通過精確，可靠和安全地監控任何流動介質的消耗和流速，即使在每小時低至幾升的極低流速下，也是潔凈室環境中經濟運行的理想流量計。
1，外夾式流量測量，測量精度高，適合固定使用
2，傳感器安裝夾具和傳感器不含金屬
3，適用于管徑為 3/8"、1/2"、3/4"、1"、1 1/4"、1 1/3"、1 1/2"的塑料管 和和撓性管（其他視應用而定）
4，即使在低流速下確保高精度測量
5，在過程運行中可進行安裝和調試，無需停車
6，傳感器固定在管道外側，因此沒有污染或泄漏的風險
7，用戶友好的菜單界面固件特別適合于半導體行業的需求
半導體行業的流量測量
高腐蝕性物質，如酸或堿
清潔劑
溶劑
超純流體
精度
±1.5 % v. MW ±0.01 m/s
重復性
0.25 % 讀數，視應用而定
流速范圍
0.01...25 m/s
防區主機
only safe area
供電電源
100...230V/50-60Hz或
20...32V DC 或
11...16 V DC
可用傳感器
剪切波
對于防爆區
無
適用于管道尺寸范圍
8mm ... 51mm，請參考尺寸圖
適用于溫度范圍
-20°C .... 100°C
輸出
1x 4-20mA active
2x pulse/binary
輸入
---
數字通信
Modbus RTU
BACnet MS/TP
M-Bus
對于手動360°視圖，向左或向右拉動圖像
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