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無線溫度記錄器微型無線溫度記錄器
產品概述
光刻系統是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測尤為重要，溫度會影響光刻膠流動，從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統，光刻系統等的溫度檢測記錄。
微型無線溫度記錄器產品特點
1. 體積微小、靈活通用；
2. 溫度準確度小于10mK；
3. 采用無線通訊方式，響應時間短，可連續工作時間超過10天。
微型無線溫度記錄器主要參數
產品尺寸 | 長20mm×寬20mm×厚10mm |
溫度范圍 | 0℃ ~ 40℃ |
溫度準確度 | ＜10mK（3σ） |
重復測量準確度 | ＜5mK（3σ） |
傳感器響應時間 | ≤1s |
采集頻率 | Max.1Hz |
連續工作時間 | ≥10days |
通訊方式 | Wifi |
保修期 | 1年 |
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