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腐蝕性氣體專用便攜式水分析儀TPM500-Corr

分析原理

當儀器進行取樣分析，待測氣樣流經傳感器時，其水份便被池內的P2O5膜層吸收，并同時電解為d和

o2,產生相應的電解電流，當吸收和電解達到平衡后，進入傳感器的水份，全部被P2O5吸收并電解，電解

電流的大小與氣樣中的含水量成正比。因此，通過電流的測定，便可得知水份的含量。

此原理用來測量電、He. Ar、Xe. 02. 03^ CH- H2, C2H2, C2F4,尤其適合高純酸氣如C'、HF、HC

I、SO2X H2S. SF6X CO、CO2等諸多氣體微量水分測量（與磷酸發生化學反應的氣體除外）。

PM500-Corr便攜式微量水分儀采用電解法測量氣體中的微量水分，測量范圍0-2500PPMv(可擴展到4000PPMv)。 主要用于工業現場管道、原料氣、以及取樣分析點位的水分檢測。也適用于檢測其它不破壞P2O5涂層，不在電極上起聚合反映的各種氣體中的微量水分。 多用于多晶硅、氯堿等化工行業中腐蝕性氣體檢測，適用于Cl,、HF、HCI、SO,、H,S等強酸氣體分析。