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簡介
高性能MFC，為半導體行業量身打造
S300系列數字質量流量控制器/流量計：采用公司自主研發的工業級先進流量傳感器，結合精細拋光氣路結構以及高精度數字控制電路和算法，實現高精度、低零漂、高重復性控制。該產品配備現場顯示屏和地址編碼開關，多種通訊方式可選、可定制全金屬密封， 適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環境 。
主要優勢
S1 物理功能模塊豐富
頂部配置有豐富的功能模塊：
* RJ45數字通信接口(可定制
EtherCAT或RS485協議)
* 地址編碼開關
* 現場顯示屏
* 狀態指示燈
此外，側面配置有M8航空供電接口，顯示直觀、操作簡單，方便用戶進行現場流量監測和控制。
S2 快速響應
1.5ms傳感器響應時間，0.1~0.5s儀表系統響應時間，及時捕捉微小流量變化。
S3 高精度
2.0%-100%F.S.全量程段保持高精度：
0.3%F.S.(≤30%F.S.)；1.0%S.P.(＞30%F.S.)
S4 配備專用上位機
配備功能強大的SmartFlow上位機軟件，支持多臺聯動，方便進行監測和設備配置。
S5 認證產品
通過TüV國際機構CE&EMC認證，或計量院一級校準證書等，符合多項SEMI標準。
* 除非另有說明，本產品標定于以下條件：氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar
絕壓)、水平放置安裝。
* 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產生偏差。
* 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導致額外的壓損。
1 所示量程為氮氣可選量程。
2 %F.S.指誤差占滿量程的百分比。
3 %S.P.指誤差占設定值的百分比。
4 響應時間指達到設定值±2%以內所需要的時間。
5 工作壓力指進氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓，更多細節請聯系我們。
尺寸及通信
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